Технология кремниевой наноэлектроники

Учебно-методическое пособие по дисциплине «Технология кремниевой наноэлектроники» содержит варианты индивидуальных заданий для аудиторных практических занятий, краткие сведения по тематике заданий и методические указания для их выполнения, индивидуальные домашние задания, варианты аудиторных контрольных работ, тестовые задания, вопросы к экзамену, список рекомендуемой литературы, в приложениях приведены справочные данные. Для студентов направлений подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника», 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника».